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  • JSR 捷思尔 1957 年在日本东京成立,前身为日本合成橡胶株式会社,东京证券交易所上市企业,是全球顶尖的综合精细化学与半导体材料厂商。企业深耕高分子化学领域数十年,业务布局电子材料、生命科学、功能塑料三大板块,半导体材料是核心业务板块之一,在全球多地设立研发中心与生产基地,中国上海建有技术研发中心,专门面向国内晶圆厂提供材料评测、工艺验证等本地化技术支持。

  • 华海清科 2013 年成立,总部天津,科创板上市企业,国内 CMP 抛光装备龙头厂商,国家级专精特新 “小巨人” 企业。公司专注半导体高端装备研发制造,是国内首家实现 12 英寸 CMP 抛光设备产业化并大规模进入国内头部晶圆产线的本土企业,搭建天津研发与生产基地,拥有全套设备自研、装配、工艺验证能力,核心专利覆盖抛光设备机械结构、压力控制系统、在线检测、工艺算法等领域,产品批量供应中芯国际、长江存储、长鑫存储等国内主流 12 英寸晶圆制造企业。

  • 上海新安纳专注半导体纳米磨料与 CMP 抛光液研发,核心产品为氧化硅基抛光液、硅片抛光液,面向 8 英寸、12 英寸硅衬底抛光与介质层平坦化,产品已在国内多家硅片制造企业、模拟芯片晶圆厂验证导入。公司自主合成胶体二氧化硅纳米磨料,掌握抛光液配方、分散稳定全套工艺,是国内 CMP 抛光液赛道专注硅基底与介质抛光的国产厂商。

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