凯世通半导体(上海)股份有限公司成立于 2009 年，是国内半导体离子注入装备赛道的领军企业，国家级专精特新 “小巨人” 企业，隶属于先导基电。公司扎根上海浦东，在北京、合肥、临港等地布局研发与服务网点，专注集成电路核心工艺装备自主研发，为晶圆制造提供高可靠、自主可控的离子注入全周期一站式解决方案。

上海果纳半导体技术股份有限公司(GONA)是国内半导体晶圆智能传输装备领域的领军高新技术企业、国家级重点专精特新 “小巨人” 企业，专注集成电路前道晶圆传输系统研发制造，致力于实现晶圆传输装备国产化，打破海外厂商长期垄断。公司核心研发团队汇聚来自国际头部半导体设备企业的资深专家，深耕洁净机器人、精密运动控制、低颗粒污染等关键技术，积累大量自主知识产权。

塞美克是国内专注大尺寸显示面板真空搬运机器人研发制造的国产装备企业，深耕高真空环境基板传输技术，拥有蛙式真空搬运机器人、可伸缩真空机械手等多项自主发明专利，是国内较早攻克 10.5G 超大玻璃基板真空搬运装备的厂商。公司真空机器人专为 OLED、LCD 面板蒸镀等真空工艺腔体设计，采用低释气、低粉尘结构，在高真空环境下完成大尺寸玻璃基板高精度取放转运，具备高负载、低振动、高重复定位特性，可适配 6G、8.5G、10.5G 全世代面板产线。

平田机工是日本老牌半导体与显示基板传输装备厂商，深耕洁净与真空搬运机器人领域数十年，拥有丰富的真空密封、低释气结构与高精度运动控制技术积累。公司真空机器人分为晶圆真空机械手与大尺寸面板基板真空搬运机器人两大产品线，可在高真空环境下完成硅片、玻璃基板高精度转运，低微粒、低放气特性满足半导体刻蚀、沉积以及 OLED 蒸镀等严苛工艺工况，适配 8/12 英寸晶圆以及 6G~10.5G 显示基板。

大族富创得是国内泛半导体晶圆传输装备头部企业，专注半导体洁净与真空搬运机器人研发制造，拥有完整真空机械手自主研发、产业化能力，掌握真空波纹管密封、低释气材料选型、超精密运动控制等核心技术。公司真空晶圆机器人面向 8 英寸、12 英寸半导体前道工艺腔体，可在高真空环境完成硅片高精度取放转运，具备低微粒、低放气、振动抑制优异、重复定位精度高等特性，适配刻蚀、PVD、CVD 等半导体核心工艺。