上海果纳半导体技术股份有限公司(GONA)是国内半导体晶圆智能传输装备领域的领军高新技术企业、国家级重点专精特新 “小巨人” 企业,专注集成电路前道晶圆传输系统研发制造,致力于实现晶圆传输装备国产化,打破海外厂商长期垄断。公司核心研发团队汇聚来自国际头部半导体设备企业的资深专家,深耕洁净机器人、精密运动控制、低颗粒污染等关键技术,积累大量自主知识产权。
公司自研真空晶圆机械手、EFEM 设备前端模块,洁净等级可达 ISO Class1.兼容 6/8/12 英寸晶圆,可稳定完成高真空腔体内晶圆精准搬运,具备低碎片率、高稳定性优势。产品在国内晶圆厂实现量产验证,累计稳定处理晶圆数百万片,性能对标国际一线品牌。产品广泛适配逻辑芯片、功率器件、第三代半导体等制造场景,覆盖刻蚀、薄膜沉积、量测等多类工艺设备。作为国内少数可规模化交付全套晶圆智能传输系统的本土厂商,果纳持续打磨整机与核心零部件,为国内半导体设备厂商和晶圆制造企业提供可靠的传输解决方案,有力推动国内集成电路装备产业链自主升级。
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