乐孜芯创自动化设备(上海)有限公司
法定代表人:藤代祥之
联系方式: 021-50101028
品牌发源地:上海
品牌创立时间:2008-06-24
主营产品:大气洁净晶圆传输机器人 真空洁净机器人 基板传输机器人
公司洁净机器人产品矩阵涵盖大气晶圆传输机器人、真空洁净机器人、基板传输机器人,配套 Load Port 晶圆载具端口、晶圆对准器、EFEM 设备前端模块。产品实现低发尘、高重复定位精度,可在 Class1 超高洁净环境稳定工作,适配光刻、刻蚀、薄膜沉积、检测等半导体全制程工位,广泛应用于 12 英寸、8 英寸晶圆产线,同时覆盖面板、生命科学洁净自动化场景,可对接半导体工厂自动化系统,提供设备端洁净传输单元与现场技术服务。
RORZE 在日本设立研发制造中心,在上海搭建中国研发、装配与售后基地,贴近国内半导体客户。持续迭代真空洁净传输、轻量化手臂、微粒抑制核心技术,深耕半导体设备上游核心零部件,联动国内外晶圆设备厂商开展适配验证,不断完善洁净自动化产品体系,助力国内集成电路产线实现稳定的无尘晶圆转运。
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