凯世通半导体(上海)股份有限公司成立于 2009 年,是国内半导体离子注入装备赛道的领军企业,国家级专精特新 “小巨人” 企业,隶属于先导基电。公司扎根上海浦东,在北京、合肥、临港等地布局研发与服务网点,专注集成电路核心工艺装备自主研发,为晶圆制造提供高可靠、自主可控的离子注入全周期一站式解决方案。
公司研发实力雄厚,团队技术人员占比超 60%,累计取得 190 余项授权专利。依托先导科技集团产业链资源加持,持续攻克离子束、真空传输、精密机械等核心技术,配套自研真空晶圆传输机械手,适配离子注入机高真空腔体晶圆交换。产品已通过国内多家主流晶圆厂严苛验证,截至目前累计交付近 50 台设备,12 英寸晶圆累计过货量突破千万片,成功实现规模化量产落地,助力半导体装备国产替代进程。产品广泛覆盖先进逻辑、存储芯片、功率器件、CIS 图像传感器以及 SiC/GaN 第三代半导体等领域,多次承担国家、上海市重点科技专项,斩获多项科技奖项,是国内半导体真空工艺装备领域极具竞争力的本土厂商。
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