关东电化KantoDenka

关东电化工业株式会社

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关东电化创立于 1938 年,是日本氟化学领域老牌精细化工企业,依托长达半个世纪的氟电解核心技术积淀,专注高纯含氟电子特种气体研发、提纯与生产,是全球半导体电子特气核心供应商之一。品牌掌握从氟气原料电解制备、氟化反应到高纯精馏提纯的全流程自研工艺,自研 KSG 系列半导体特种气体,面向晶圆制造、显示面板产业提供蚀刻、清洗、薄膜沉积工艺所需的高纯特种气体,为半导体产线稳定生产提供关键材料支撑。

品牌建立严苛的产品质量管控体系,配备高精度痕量杂质分析检测设备,可实现 ppb 级杂质控制,保障电子特气超高纯度指标。产品线覆盖多种含氟蚀刻气体、钨前驱体、氟基清洗气体,产品适配先进制程与成熟制程晶圆工艺,可用于刻蚀、CVD 薄膜生长、腔体清洗等关键工序。产品经过半导体行业可靠性验证,同时兼顾低环境负荷的绿色特气开发,可根据客户需求提供瓶装高纯气体、精密混合气,配套气体应用技术支持,帮助晶圆厂优化工艺参数,提升芯片生产良率。

关东电化在中国设立贸易与生产主体,科地克(上海)贸易有限公司负责国内市场销售与技术对接,宣城科地克科技实现氟化合物材料本地化生产,搭建国内技术服务团队,为国内半导体企业提供产品选型、工艺咨询、安全技术培训等配套服务。伴随国内半导体产业快速发展,品牌持续扩充国内电子特气相关产能,不断迭代新一代环保型含氟特气产品。凭借独有的氟化学技术积累、稳定的产品品质,关东电化在全球半导体电子特气市场占据重要地位,长期服务国内外众多头部半导体制造企业。


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