上海华力微电子有限公司,是中国大陆一条全自动12英寸集成电路Foundry生产线,工艺水平达到55-40-28nm技术等级,月产能达3.5万片。华力微电子采用代工模式,为设计公司、IDM公司和其他系统公司代工逻辑和闪存芯片。公司位于中国上海张江高科技园区,在中国台湾地区、日本、北美等地均设有办公室,提供销售与技术支持。
华力微电子厂房面积超过9万平方米,其中净化面积超过1.5万平方米。生产线采用精良生产设备,能满足193nm浸没式光刻技术、应变硅技术、铜后道金属互连技术、大马士革一体化刻蚀技术等工艺技术的要求,同时还配备了业界的亮场缺陷检测和电子扫描显微镜等检测设备。
华力微电子采用全自动硅片搬送系统和全自动派工系统,建立了集成电路“柔性全自动生产系统”,可灵活调配产能,产线良率指标达到业界前沿水平。
华力微电子建立了拥有自主知识产权的55-40-28nm逻辑工艺技术平台和延伸的特色工艺技术,可以满足客户在低功耗、高性能、射频、高压、图像传感器、嵌入式存储器等多种芯片的大规模生产需求。
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